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वाफर हैंडलिंग के लिए सीआईसी वेफर हैंड, क्लीनरूम संगत, संक्षारण प्रतिरोधी, अनुकूलन योग्य इंटरफ़ेस
उत्पाद विवरण:
| ब्रांड नाम: | ZMSH |
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विस्तार जानकारी |
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| घनत्व: | 3.21g/cm ge | कठोरता: | 2500vickers कठोरता |
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| अनाज का आकार: | 2 ~ 10μm | रासायनिक शुद्धता: | 99.99995% |
| ताप की गुंजाइश: | 640J · kg-1 · K-1 | उच्चता तापमान: | 2700 ℃ |
उत्पाद विवरण
वेफर हैंड का उत्पाद परिचय
सीआईसी वेफर हाथ एक अंत प्रभावक उच्च कठोरता और थर्मल स्थिरता के साथ वेफर्स को संभालने के लिए डिज़ाइन किया गया है। घने, उच्च शुद्धता वाले सिलिकॉन कार्बाइड से निर्मित,यह उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति प्रदान करता है, संक्षारण प्रतिरोध, थर्मल स्थायित्व, और अल्ट्रा-स्वच्छ प्रदर्शन। यह उन्नत अर्धचालक सब्सट्रेट जैसे कि SiC, GaN,और स्वच्छ कमरे और उच्च तापमान वातावरण में नीलम.
वेफर हैंड की संरचना और कार्य सिद्धांत
सीआईसी वेफर हैंड विंचर जैसी संरचनाओं या कस्टम प्लेटफार्मों का उपयोग करके उनके किनारे या पीछे से वेफर्स का समर्थन करता है। वैकल्पिक वैक्यूम सक्शन, संरेखण ग्रूव,या मैकेनिकल हैंडल संपर्क रहित या न्यूनतम संपर्क हस्तांतरण सक्षमइसकी उच्च संरचनात्मक कठोरता परिवहन के दौरान आयामी स्थिरता सुनिश्चित करती है, जिससे सटीक वेफर पोजिशनिंग और न्यूनतम संदूषण जोखिम संभव होता है।
वेफर हैंड के अनुप्रयोग क्षेत्र
वेफर हाथों का व्यापक रूप से निम्नलिखित अर्धचालक और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक प्रक्रियाओं में उपयोग किया जाता हैः
1.वेफर परिवहन प्रणाली (जैसे, EFEM, FOUP लोडर, SMIF पॉड इंटरफेस)
2लिथोग्राफी, उत्कीर्णन, आयन प्रत्यारोपण, थर्मल प्रसंस्करण के लिए वेफर लोड/अनलोडिंग
3वेफर निरीक्षण, छँटाई और वर्गीकरण उपकरण
4डाई बॉन्डिंग, कटिंग, पैकेजिंग और अंतिम परीक्षण स्टेशन
5डिस्प्ले पैनल, एमईएमएस और बायोचिप निर्माण में सटीक हैंडलिंग
6.Si, SiC, GaAs, GaN, नीलमणि और अन्य सब्सट्रेट के लिए उपयुक्त
उत्पाद के फायदेडब्ल्यू काहाथ
A: 2-इंच से 12-इंच के वेफर्स का समर्थन करता है; कस्टम आकार भी उपलब्ध हैं।
प्रश्न 2: क्या वेफर का हाथ वेफर को खरोंच या दूषित करेगा?
उत्तर: नहीं। हाथ कम कणों, पहनने के प्रतिरोधी सामग्री से बना है, जिसके किनारों में चम्फर्ड हैं और क्लीनरूम अनुपालन है।
प्रश्न 3: क्या इसे रोबोटिक प्रणालियों के साथ एकीकृत किया जा सकता है?
उत्तर: हाँ, यह विभिन्न रोबोट इंटरफेस (जैसे, SECS/GEM, SEMI मानक) का समर्थन करता है और विशिष्ट प्रणालियों के लिए अनुकूलित किया जा सकता है।
Q4: अपेक्षित सेवा जीवन और रखरखाव आवश्यकता क्या है?
A: न्यूनतम रखरखाव के साथ 1 मिलियन से अधिक ऑपरेशन चक्रों के लिए डिज़ाइन किया गया; आवधिक सफाई पर्याप्त है।
Q5: क्या इसे विभिन्न वेफर सामग्री (Si, SiC, Sapphire, आदि) के आधार पर अनुकूलित किया जा सकता है?
एकः हाँ. हम अनुकूलित डिजाइन प्रदान करते हैं उपयुक्त समर्थन संरचनाओं के साथ विभिन्न वेफर सामग्री के लिए अनुकूलित.
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