8 इंच 12 इंच 4 एच-एन प्रकार सीआईसी वेफर मोटाई 500±25um n डोपेड डमी प्राइम रिसर्च ग्रेड

8 इंच 12 इंच 4H-N प्रकार SiC वेफर का सार

यह अध्ययन अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए अभिप्रेत 8 इंच 12 इंच एच-एन प्रकार के सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) वेफर का चरित्र प्रस्तुत करता है।अत्याधुनिक तकनीकों का उपयोग करके निर्मित किया गया है और n-प्रकार की अशुद्धियों से युक्त हैक्रिस्टल की गुणवत्ता, सतह के रूप को आकलन करने के लिए एक्स-रे विवर्तन (एक्सआरडी), स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन माइक्रोस्कोपी (एसईएम) और हॉल प्रभाव माप सहित विशेषता तकनीकों का उपयोग किया गया।और वेफर के विद्युत गुणएक्सआरडी विश्लेषण ने सीआईसी वेफर की 4 एच पॉलीटाइप संरचना की पुष्टि की, जबकि एसईएम इमेजिंग ने एक समान और दोष मुक्त सतह आकृति का खुलासा किया।हॉल प्रभाव मापों ने वेफर सतह पर एक सुसंगत और नियंत्रित एन-प्रकार डोपिंग स्तर को इंगित कियानतीजों से पता चलता है कि 8 इंच का 4H-N प्रकार का SiC वेफर उच्च प्रदर्शन वाले अर्धचालक उपकरणों में उपयोग के लिए आशाजनक विशेषताएं प्रदर्शित करता है।विशेष रूप से उच्च शक्ति और उच्च तापमान संचालन की आवश्यकता अनुप्रयोगों मेंइस सामग्री मंच की क्षमता का पूर्ण लाभ उठाने के लिए आगे के अनुकूलन और उपकरण एकीकरण अध्ययन की आवश्यकता है।

8 इंच 12 इंच 4 एच-एन प्रकार सीआईसी वेफर के गुण

1. क्रिस्टल संरचना: 4H पॉलीटाइप के साथ हेक्सागोनल क्रिस्टल संरचना प्रदर्शित करता है, जो अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए अनुकूल इलेक्ट्रॉनिक गुण प्रदान करता है।

2. वेफर व्यासः 8 इंच, उपकरण निर्माण और स्केलेबिलिटी के लिए एक बड़ा सतह क्षेत्र प्रदान करता है।

3. वेफर मोटाईः आम तौर पर 500±25 μm, यांत्रिक स्थिरता और अर्धचालक विनिर्माण प्रक्रियाओं के साथ संगतता प्रदान करता है।

4. डोपिंग: एन-प्रकार का डोपिंग, जिसमें क्रिस्टल जाली में अतिरिक्त मुक्त इलेक्ट्रॉन बनाने के लिए नाइट्रोजन परमाणुओं को जानबूझकर अशुद्धियों के रूप में पेश किया जाता है।

5. विद्युत गुण:

   • उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता, कुशल आवेश परिवहन की अनुमति देती है।
   • कम विद्युत प्रतिरोध, विद्युत प्रवाह की सुविधा।
   • वेफर की सतह पर नियंत्रित और समान डोपिंग प्रोफाइल।

6. सामग्री शुद्धताः उच्च शुद्धता वाली SiC सामग्री, कम स्तर की अशुद्धियों और दोषों के साथ, विश्वसनीय डिवाइस प्रदर्शन और दीर्घायु सुनिश्चित करती है।

7. सतह आकृति विज्ञान: चिकनी और दोष मुक्त सतह आकृति विज्ञान, जो उपमहाशिरा विकास और उपकरण निर्माण प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त है।

8. थर्मल गुणः उच्च ताप चालकता और उच्च तापमान पर स्थिरता, उच्च शक्ति और उच्च तापमान अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाती है।

9. ऑप्टिकल गुण: दृश्य और अवरक्त स्पेक्ट्रम में व्यापक बैंडगैप ऊर्जा और पारदर्शिता, ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक डिवाइस के एकीकरण को सक्षम करती है।

10. यांत्रिक गुण:

    • उच्च यांत्रिक शक्ति और कठोरता, हैंडलिंग और प्रसंस्करण के दौरान स्थायित्व और लचीलापन प्रदान करती है।
    • थर्मल विस्तार का कम गुणांक, तापमान चक्र के दौरान थर्मल तनाव-प्रेरित क्रैकिंग के जोखिम को कम करता है।

      संख्या	पद	इकाई	उत्पादन	अनुसंधान	बेवकूफ
      1	बहुप्रकार		4H	4H	4H
      2	सतह की ओर उन्मुखता	°	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5	<11-20>4±0.5
      3	पूरक		एन-प्रकार का नाइट्रोजन	एन-प्रकार का नाइट्रोजन	एन-प्रकार का नाइट्रोजन
      4	प्रतिरोधकता	ओम · सेमी	0.015~0.025	0.01~0.03
      5	व्यास	मिमी	200±0.2 300	200±0.2 300	200±0.2 300
      6	मोटाई	μm	500±25 1000±50	500±251000±50	500±251000±50
      7	नाच अभिविन्यास	°	[१-१००]±५	[१-१००]±५	[१-१००]±५
      8	नाच गहराई	मिमी	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5	1 ~ 1.5
      9	एलटीवी	μm	≤5 ((10mm×10mm)	≤5 ((10mm×10mm)	≤10 ((10mm×10mm)
      10	टीटीवी	μm	≤10	≤10	≤15
      11	झुकना	μm	25 ~ 25	45~45	65~65
      12	वार्प	μm	≤30	≤50	≤ 70

8 इंच 12 इंच 4H-N प्रकार SiC वेफर की छवि

8 इंच 12 इंच 4 एच-एन प्रकार सीआईसी वेफर का अनुप्रयोग

पावर इलेक्ट्रॉनिक्स: SiC वेफर्स का व्यापक रूप से विद्युत उपकरणों के निर्माण में उपयोग किया जाता है जैसे कि Schottky डायोड, MOSFETs (मेटल-ऑक्साइड-सेमीकंडक्टर फील्ड-इफेक्ट ट्रांजिस्टर),और आईजीबीटी (आइसोलेटेड गेट द्विध्रुवीय ट्रांजिस्टर)इन उपकरणों को SiC के उच्च ब्रेकडाउन वोल्टेज, कम ऑन स्टेट प्रतिरोध और उच्च तापमान प्रदर्शन का लाभ मिलता है, जो उन्हें इलेक्ट्रिक वाहनों में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाता है,नवीकरणीय ऊर्जा प्रणाली, और बिजली वितरण प्रणाली।

आरएफ और माइक्रोवेव उपकरण: उच्च आवृत्ति आरएफ (रेडियो आवृत्ति) और माइक्रोवेव उपकरणों के विकास में उनके उच्च इलेक्ट्रॉन गतिशीलता और थर्मल चालकता के कारण सीआईसी वेफर्स का उपयोग किया जाता है।अनुप्रयोगों में उच्च शक्ति वाले एम्पलीफायर शामिल हैं, आरएफ स्विच और रडार प्रणाली, जहां सीआईसी के प्रदर्शन लाभ कुशल शक्ति प्रबंधन और उच्च आवृत्ति संचालन की अनुमति देते हैं।

ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक्स: सीआईसी वेफर्स का उपयोग ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक उपकरणों जैसे पराबैंगनी (यूवी) फोटोडेटेक्टर, प्रकाश उत्सर्जक डायोड (एलईडी) और लेजर डायोड के निर्माण में किया जाता है।सीआईसी का व्यापक बैंडगैप और यूवी रेंज में ऑप्टिकल पारदर्शिता इसे यूवी सेंसरिंग में अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाती है, यूवी नसबंदी, और उच्च चमक यूवी एल ई डी.

उच्च तापमान इलेक्ट्रॉनिक्स: कठोर वातावरण या उच्च तापमान में काम करने वाली इलेक्ट्रॉनिक प्रणालियों के लिए सीआईसी वेफर्स को प्राथमिकता दी जाती है। अनुप्रयोगों में एयरोस्पेस इलेक्ट्रॉनिक्स, डाउनहोल ड्रिलिंग उपकरण,और ऑटोमोबाइल इंजन नियंत्रण प्रणाली, जहां SiC की थर्मल स्थिरता और विश्वसनीयता चरम परिस्थितियों में संचालन को सक्षम करती है।

सेंसर प्रौद्योगिकी: सीआईसी वेफर्स का उपयोग तापमान सेंसर, दबाव सेंसर और गैस सेंसर जैसे अनुप्रयोगों के लिए उच्च-प्रदर्शन सेंसर के विकास में किया जाता है।सीआईसी आधारित सेंसर उच्च संवेदनशीलता जैसे फायदे प्रदान करते हैं, तेजी से प्रतिक्रिया समय, और कठोर वातावरण के साथ संगतता, उन्हें औद्योगिक, ऑटोमोटिव और एयरोस्पेस अनुप्रयोगों के लिए उपयुक्त बनाता है।