उच्च तापमान प्रसंस्करण के लिए सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक ट्रे

अवलोकन

सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सिरेमिक ट्रे उच्च प्रदर्शन वाले वाहक हैं जिन्हें मांग वाले थर्मल, रासायनिक और यांत्रिक वातावरण के लिए डिज़ाइन किया गया है। असाधारण कठोरता, थर्मल शॉक प्रतिरोध और उच्च तापमान पर स्थिरता के साथ, SiC ट्रे सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण, एलईडी निर्माण, उन्नत सामग्री सिंटरिंग और उच्च-शुद्धता थर्मल अनुप्रयोगों के लिए एक पसंदीदा समाधान बन गए हैं। उनकी स्थायित्व और कम संदूषण विशेषताएं लगातार प्रक्रिया विश्वसनीयता और लंबे समय तक सेवा जीवन सुनिश्चित करती हैं।

सामग्री गुण

सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक भौतिक और रासायनिक शक्तियों का एक संयोजन प्रदान करते हैं जो पारंपरिक एल्यूमिना और क्वार्ट्ज ट्रे से बेहतर प्रदर्शन करते हैं:

• उच्च तापमान प्रतिरोध: 1600–1700 °C से ऊपर स्थिर प्रदर्शन, उच्च तापमान भट्टियों के लिए उपयुक्त।

• उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध: बिना दरार के तेजी से हीटिंग और कूलिंग चक्र।

• उच्च कठोरता और पहनने का प्रतिरोध: यांत्रिक तनाव के तहत जीवनकाल बढ़ाता है।

• कम थर्मल विस्तार (सीटीई): थर्मल साइकिलिंग के दौरान आयामी स्थिरता सुनिश्चित करता है।

• उच्च तापीय चालकता: समान गर्मी वितरण को बढ़ावा देता है, सिंटरिंग स्थिरता में सुधार करता है।

• संक्षारण और ऑक्सीकरण प्रतिरोधी: संदूषण जोखिम को बहुत कम करता है।

• कम आउटगैसिंग: अल्ट्रा-क्लीन प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त।

विनिर्माण प्रक्रिया

SiC सिरेमिक ट्रे आमतौर पर प्रेशरलेस सिंटरिंग, प्रतिक्रिया बंधन (RBSiC), या रासायनिक वाष्प जमाव (CVD-SiC) शुद्धता और प्रदर्शन आवश्यकताओं के आधार पर निर्मित होते हैं:

• RBSiC (प्रतिक्रिया-बंधित SiC): उच्च शक्ति, उत्कृष्ट थर्मल शॉक गुण, लागत प्रभावी।

• SSiC (सिंटर्ड SiC): उच्च शुद्धता, उच्च घनत्व, बेहतर रासायनिक स्थिरता, सेमीकंडक्टर के लिए आदर्श।

• CVD-SiC कोटिंग: उन्नत वेफर प्रक्रियाओं के लिए अत्यंत शुद्ध, छिद्र-मुक्त, संक्षारण-प्रतिरोधी सतहें प्रदान करता है।

प्रत्येक उत्पादन मार्ग उच्च एकरूपता, सटीक आयामी नियंत्रण और अनुकूलन योग्य ज्यामिति सुनिश्चित करता है।

मुख्य अनुप्रयोग

SiC सिरेमिक ट्रे का उपयोग कई उद्योगों में व्यापक रूप से किया जाता है:

सेमीकंडक्टर और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स

• वेफर लोडिंग, उच्च तापमान प्रसंस्करण, LPCVD/PECVD समर्थन

• विसरण, ऑक्सीकरण, रैपिड थर्मल प्रक्रियाएं

• उच्च-शुद्धता सामग्री परिवहन और वाहक प्लेटफ़ॉर्म

एलईडी और ऑप्टोइलेक्ट्रॉनिक विनिर्माण

• नीलम, GaN, SiC वेफर सिंटरिंग और एनीलिंग

• एपिटैक्सी और उच्च तापमान हीट ट्रीटमेंट सपोर्ट

पाउडर धातु विज्ञान और सिंटरिंग

• सिरेमिक, चुंबकीय सामग्री और धातु पाउडर सिंटरिंग

• उच्च तापमान भट्टी वाहक और विभाजक

लिथियम बैटरी और उन्नत सामग्री

• पाउडर कैल्सीनेशन, फॉस्फेटिंग, उच्च तापमान कोटिंग

• उन्नत ऊर्जा सामग्री के लिए समर्थन फिक्स्चर

सामान्य औद्योगिक भट्टियाँ

• उच्च तापमान बेकिंग, हीट ट्रीटमेंट, थर्मल साइकिलिंग

SiC सिरेमिक ट्रे के लाभ

पारंपरिक ग्रेफाइट, एल्यूमिना, या धातु ट्रे की तुलना में, SiC सिरेमिक ट्रे महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करते हैं:

• लंबे समय तक सेवा जीवन बार-बार उच्च तापमान चक्रों में

• कम संदूषण, स्थिर प्रक्रिया गुणवत्ता सुनिश्चित करना

• उच्च यांत्रिक शक्ति विरूपण का विरोध करने के लिए

• समान गर्मी चालन बेहतर उत्पाद स्थिरता के लिए

• अनुकूलन योग्य डिज़ाइन, जिसमें स्लॉट, छेद, खांचे और जटिल ज्यामिति शामिल हैं

• क्लीनरूम और वैक्यूम वातावरण के साथ संगत

उपलब्ध विनिर्देश

हम मानक और कस्टम-डिज़ाइन ट्रे प्रदान करते हैं, जिनमें शामिल हैं:

• फ्लैट ट्रे, झरझरा ट्रे, ग्रिड ट्रे

• आयाम: सामान्य आकार में 100–500 मिमी शामिल हैं; अनुकूलन योग्य

• मोटाई: 3–20 मिमी या ग्राहक के अनुरोध के आधार पर

• सामग्री विकल्प: RBSiC, SSiC, CVD-SiC

• सतह परिष्करण: पॉलिशिंग, CVD कोटिंग, चैम्फरिंग, लेजर मार्किंग

कस्टम OEM/ODM सेवाएं विशेष भट्टी मॉडल, स्वचालित सिस्टम या विशिष्ट उत्पादन लाइनों के लिए समर्थित हैं।

अक्सर पूछे जाने वाले प्रश्न

Q1: RBSiC और SSiC ट्रे के बीच क्या अंतर है?

RBSiC कम लागत पर उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति प्रदान करता है, जबकि SSiC उच्च शुद्धता, बेहतर संक्षारण प्रतिरोध प्रदान करता है, और सेमीकंडक्टर वातावरण के लिए आदर्श है।

Q2: क्या SiC ट्रे तेजी से थर्मल साइकिलिंग का सामना कर सकती हैं?

हाँ। SiC में उत्कृष्ट थर्मल शॉक प्रतिरोध है, जो इसे तेज़ हीटिंग और कूलिंग प्रक्रियाओं के लिए उपयुक्त बनाता है।

Q3: क्या ट्रे के आकार को अनुकूलित किया जा सकता है?

बिल्कुल। हम खांचे, छेद, सीमाओं और बहु-परत संरचनाओं सहित जटिल ज्यामिति के साथ ट्रे का उत्पादन कर सकते हैं।

Q4: क्या SiC उच्च तापमान संचालन के दौरान उत्पादों को दूषित करेगा?

नहीं। SiC रासायनिक रूप से स्थिर है, ऑक्सीकरण प्रतिरोधी है, और इसमें कम आउटगैसिंग है, जो कम संदूषण सुनिश्चित करता है।

Q5: क्या SiC ट्रे को एक विशिष्ट सफाई विधि की आवश्यकता होती है?

सफाई सामग्री ग्रेड पर निर्भर करती है: SSiC और CVD-SiC एसिड/बेस सफाई की अनुमति देते हैं; RBSiC को सतह परिवर्तन से बचने के लिए हल्के तरीकों की आवश्यकता होती है।

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