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| ब्रांड नाम: | ZMSH |
| मॉडल संख्या: | अंत प्रेरक |
| एमओक्यू: | 1 |
| कीमत: | by case |
| पैकेजिंग विवरण: | कस्टम डिब्बों |
| भुगतान की शर्तें: | टी/टी |
दSiC सिरेमिक कांटा हाथ, जिसे ए के रूप में भी जाना जाता हैसिरेमिक अंत प्रभावक, अर्धचालक विनिर्माण में अति-स्वच्छ और उच्च परिशुद्धता वाले वेफर हैंडलिंग अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया एक उच्च-प्रदर्शन वाला रोबोटिक घटक है।सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) सेरेमिक, यह अंत प्रभावक उत्कृष्ट यांत्रिक शक्ति, कम थर्मल विस्तार, और उत्कृष्ट रासायनिक प्रतिरोध प्रदान करता है, जिससे यह वैक्यूम कक्ष जैसे मांग वाले प्रक्रिया वातावरण के लिए आदर्श है,उच्च तापमान वाले क्षेत्र, और संक्षारक गैस वातावरण।
पारंपरिक धातु या क्वार्ट्ज अंत प्रभावकों के विपरीत, SiC सिरेमिक कांटा हाथ न्यूनतम कण उत्पादन और थर्मल विरूपण सुनिश्चित करता है,वेफर ट्रांसफर के लिए दीर्घकालिक विश्वसनीयता और सटीक संरेखण प्रदान करना, पोजिशनिंग और लोड/अनलोडिंग ऑपरेशन।
दसीआईसी सिरेमिक अंत प्रभावकका उपयोग करके निर्मित किया जाता हैप्रतिक्रिया-बंधित सिलिकॉन कार्बाइड (RB-SiC)यादबाव रहित सिंटर सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC)उत्पादन प्रक्रिया में आम तौर पर निम्नलिखित शामिल होते हैंः
पाउडर प्रसंस्करण: उच्च शुद्धता वाले SiC पाउडर को बांधने वालों और additives के साथ मिलाया जाता है।
मोल्डिंग/मोल्डिंग: जटिल ज्यामिति को आकार देने के लिए ठंडे आइसोस्टैटिक प्रेसिंग (सीआईपी) या इंजेक्शन मोल्डिंग जैसी तकनीकों का उपयोग करना, जिसमें पतली कांटेदार बाहों या झुकाव संरचनाएं शामिल हैं।
सिंटरिंग: 2000°C से अधिक तापमान पर गर्मी उपचार उच्च घनत्व, शक्ति और सूक्ष्म संरचनात्मक एकरूपता सुनिश्चित करता है।
परिशुद्धता मशीनिंग: सीएनसी पीसने और हीरे की चमकाने का उपयोग माइक्रोन और अति-सपाट सतहों तक आयामी सहिष्णुता प्राप्त करने के लिए किया जाता है, जिससे वेफर्स को होने वाला नुकसान कम हो जाता है।
अंतिम निरीक्षण: गैर-विनाशकारी परीक्षण (एनडीटी), आयामी जांच, और सतह मोटापा परीक्षण सुनिश्चित करते हैं कि प्रत्येक सिरेमिक अंत प्रभावकार अर्धचालक-ग्रेड मानकों को पूरा करता है।
यह पूरी प्रक्रिया यह सुनिश्चित करती है किअंत प्रभावकउत्कृष्ट कठोरता, हल्के गुणों और चुनौतीपूर्ण कार्य वातावरण में गैर-प्रतिक्रियाशीलता को बनाए रखता है।
दSiC सिरेमिक कांटा हाथ / अंत प्रभावकइसका व्यापक रूप से अर्धचालक, फोटोवोल्टिक और माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक क्षेत्रों में उपयोग किया जाता है। मुख्य अनुप्रयोगों में शामिल हैंः
वेफर ट्रांसफर सिस्टम: आईसी निर्माण के दौरान 6 इंच से 12 इंच के वेफर्स को संभालने के लिए।
वैक्यूम कक्षों में रोबोटिक हथियार: सीवीडी, एएलडी और सूखी उत्कीर्णन प्रक्रियाओं में पिक-एंड-प्लेस के लिए।
FOUP/FOSB लोड पोर्ट: वाहक और प्रक्रिया मॉड्यूल के बीच वेफर्स को स्थानांतरित करने के लिए रोबोट सिस्टम में एकीकरण।
स्वच्छ कक्ष स्वचालन: उच्च थ्रूपुट अर्धचालक उत्पादन लाइनों में जहां अति स्वच्छ हैंडलिंग आवश्यक है।
लेजर प्रसंस्करण या एनीलिंग: जहां उच्च तापमान प्रतिरोध और गैर-दूषण महत्वपूर्ण हैं।
यहअंत प्रभावककार्य यांत्रिक तनाव या दूषितता के बिना अर्धचालक वेफर्स की नाजुक लेकिन दृढ़ पकड़ सुनिश्चित करता है।
उच्च शुद्धता: प्रदूषण के प्रति उत्कृष्ट प्रतिरोध।
थर्मल स्थिरताथर्मल साइकिल के तहत कठोरता और आकार बनाए रखता है।
कम थर्मल विस्तार: थर्मल विरूपण को रोकता है, वेफर के संरेखण में सुधार करता है।
रासायनिक प्रतिरोध: संक्षारक गैसों और प्लाज्मा वातावरण के लिए निष्क्रिय।
यांत्रिक शक्ति: यांत्रिक भार के अधीन टूटने, चिपके जाने और विकृत होने के लिए प्रतिरोधी।
सतह की समतलता: अल्ट्रा-नरम संपर्क सतहों से वेफर के खरोंच होने का खतरा कम होता है।
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सीवीडी-एसआईसी कोटिंग के मुख्य विनिर्देश |
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SiC-CVD गुण |
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क्रिस्टल संरचना |
एफसीसी β चरण |
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घनत्व |
जी/सेमी 3 |
3.21 |
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कठोरता |
विकर्स कठोरता |
2500 |
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अनाज का आकार |
μm |
2~10 |
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रासायनिक शुद्धता |
% |
99.99995 |
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ताप क्षमता |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
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सुब्लिमेशन तापमान |
°C |
2700 |
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फलेक्सुरल ताकत |
एमपीए (आरटी 4 अंक) |
415 |
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यंग के मॉड्यूल |
जीपीए (4pt घुमाव, 1300°C) |
430 |
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थर्मल विस्तार (सी.टी.ई.) |
10-6K-1 |
4.5 |
|
थर्मल चालकता |
(W/mK) |
300 |
प्रश्न 1: क्वार्ट्ज या एल्यूमीनियम के बजाय सीआईसी सिरेमिक एंड इफेक्टर क्यों चुनें?
A1:सीआईसी सिरेमिक क्वार्ट्ज या धातु सामग्री की तुलना में बेहतर थर्मल प्रतिरोध, यांत्रिक शक्ति और अधिक सेवा जीवन प्रदान करते हैं, विशेष रूप से कठोर प्लाज्मा या उच्च तापमान वातावरण में।
Q2: क्या सिरेमिक कांटा के हाथों को मेरे रोबोट या वेफर के आकार के अनुरूप अनुकूलित किया जा सकता है?
A2:हाँ. हम अपने रोबोट प्रणाली और वेफर विनिर्देशों से मेल खाने के लिए कांटा हाथ ज्यामिति, स्लॉट आयाम, और माउंटिंग इंटरफेस का पूर्ण अनुकूलन प्रदान करते हैं.
Q3: क्या इन अंत प्रभावकों को वैक्यूम या प्लाज्मा प्रणालियों में उपयोग करने के लिए सुरक्षित है?
A3:निश्चित रूप से. सीआईसी सिरेमिक अपने रासायनिक निष्क्रियता और कम आउटगैजिंग के कारण अल्ट्रा-हाई वैक्यूम (यूएचवी), प्लाज्मा उत्कीर्णन, और प्रतिक्रियाशील आयन उत्कीर्णन (आरआईई) वातावरण के साथ पूरी तरह से संगत हैं.
Q4: बार-बार उपयोग के दौरान SiC सिरेमिक फोर्क आर्म कितना टिकाऊ होता है?
A4:उच्च कठोरता और कठोरता के कारण यह लगातार थर्मल चक्रों और यांत्रिक हैंडलिंग का सामना करने में सक्षम है, जिससे यह निरंतर उत्पादन वातावरण के लिए आदर्श है।
प्रश्न 5: क्या आप प्रत्येक अंत प्रभावक के लिए परीक्षण या प्रमाणन प्रदान करते हैं?
A5:हां, सभी उत्पादों को कठोर आयामी निरीक्षण, सपाटता परीक्षण और सामग्री सत्यापन से गुजरना पड़ता है। अनुपालन प्रमाण पत्र (सीओसी) और परीक्षण रिपोर्ट अनुरोध पर प्रदान की जा सकती हैं।
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