ब्रांड नाम: | ZMSH |
एमओक्यू: | 1 |
कीमत: | case by case |
पैकेजिंग विवरण: | फोमयुक्त प्लास्टिक+गत्ते का डिब्बा |
भुगतान की शर्तें: | टी/टी |
SiC सिरेमिक फोर्क कस्टम-निर्मित सटीक संरचनात्मक घटक, हैंडल वेफर्स, ऑप्टिकल घटक
का सारSiC सिरेमिक फोर्क
SiC सिरेमिक फोर्क आर्म एक संरचनात्मक घटक है जो उन्नत सिलिकॉन से बना है
कार्बाइड सिरेमिक सामग्री। इसका उपयोग मुख्य रूप से उच्च कठोरता, कम तापीय विस्तार गुणांक और उच्च पहनने के प्रतिरोध की आवश्यकता वाले सटीक उपकरणों में किया जाता है। "फोर्क आर्म" आकार आमतौर पर उच्च-अंत ऑप्टिकल उपकरणों, अर्धचालक प्रसंस्करण उपकरणों और स्वचालित हैंडलिंग सिस्टम में पाया जाता है, जो एक समर्थन, स्थिति, संचरण या क्लैंपिंग तत्व के रूप में कार्य करता है। पारंपरिक धातु सामग्री की तुलना में, सिलिकॉन कार्बाइड सिरेमिक यांत्रिक प्रदर्शन, तापीय स्थिरता और संक्षारण प्रतिरोध में महत्वपूर्ण लाभ प्रदान करता है, और आधुनिक उच्च-सटीक विनिर्माण में एक प्रमुख कार्यात्मक घटक बन गया है।
की विशेषता तालिका SiC सिरेमिक फोर्क
संपत्ति | विशिष्ट मान | इकाई | टिप्पणियाँ |
सामग्री | सिंटर्ड सिलिकॉन कार्बाइड (SSiC) | – | उच्च-शुद्धता, उच्च-घनत्व ग्रेड |
घनत्व | 3.10 – 3.15 | g/cm³ | |
कठोरता | ≥ 2200 | HV0.5 (विकर्स) | सबसे कठोर इंजीनियरिंग सिरेमिक में से एक |
फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ | ≥ 400 | MPa | 4-बिंदु झुकने परीक्षण |
संपीड़न शक्ति | ≥ 2000 | MPa | |
यंग का मापांक | 400 – 450 | GPa | अति-उच्च कठोरता |
थर्मल चालकता | 120 – 180 | W/(m·K) | गर्मी अपव्यय के लिए उत्कृष्ट |
थर्मल विस्तार का गुणांक | ~4.0 × 10⁻⁶ | /K (25–1000 °C) | बहुत कम; तापीय स्थिरता के लिए आदर्श |
अधिकतम ऑपरेटिंग तापमान | 1400 – 1600 | °C | हवा में; निष्क्रिय वातावरण में उच्च |
विद्युत प्रतिरोधकता | > 10¹⁴ | Ω·cm | इंसुलेटिंग सिरेमिक |
रासायनिक प्रतिरोध | उत्कृष्ट | – | अम्ल, क्षार और सॉल्वैंट्स के प्रतिरोधी |
सतह खुरदरापन (पॉलिशिंग के बाद) | < 0.02 | μm Ra | संपर्क सतहों के लिए वैकल्पिक |
क्लीनरूम संगतता | कक्षा 10 – 1000 | – | अर्धचालक और प्रकाशिकी उपयोग के लिए उपयुक्त |
SiC फोर्क आर्म्स को एप्लिकेशन आवश्यकताओं के अनुसार कस्टम-डिज़ाइन किया गया है। सामान्य रूपों में शामिल हैं "U-आकार" या "T-आकार" आर्म्स जिनका उपयोग किया जाता है:
वेफर हैंडलिंग
प्रोब कार्ड पोजिशनिंग
ऑप्टिकल मॉड्यूल सपोर्ट
डिजाइन में प्रमुख विचार शामिल हैं:
भार क्षमता और तनाव वितरण
थर्मल तनाव मुआवजा
सटीक बढ़ते इंटरफेस
क्लीनरूम संगतता
विनिर्माण प्रक्रिया में कई महत्वपूर्ण चरण शामिल हैं:
पाउडर तैयारी
फॉर्मिंग (सूखी प्रेसिंग, आइसोस्टैटिक प्रेसिंग, या कास्टिंग)
सिंटरिंग (जैसे, दबाव रहित सिंटरिंग, प्रतिक्रिया बंधन)
मशीनिंग (ग्राइंडिंग, लेजर ड्रिलिंग, EDM)
सतह परिष्करण (पॉलिशिंग, कोटिंग, लेजर मार्किंग)
SiC सिरेमिक घटकों की तैयारी के लिए प्रक्रिया प्रवाह आरेख
SiC सिरेमिक फोर्क आर्म्स का उपयोग आमतौर पर फोटोलिथोग्राफी, नक़्क़ाशी और पैकेजिंग जैसी प्रक्रियाओं के लिए वेफर हैंडलिंग सिस्टम में किया जाता है। लाभों में शामिल हैं:
गैर-संदूषण सतह
उच्च तापमान प्रतिरोध
उत्कृष्ट रासायनिक स्थायित्व
कक्षा 10–1000 क्लीनरूम के साथ संगतता
में प्रयुक्त:
EFEM और FOUP लोड पोर्ट
6", 8", और 12" वेफर परिवहन
वैक्यूम पिक-एंड-प्लेस सिस्टम
उच्च-सटीक ऑप्टिकल उपकरणों में, SiC फोर्क आर्म्स प्रदान करते हैं:
दर्पण और लेंस के लिए कठोर समर्थन
थर्मल विविधताओं के तहत स्थिर संरेखण
गतिशील स्थिति के लिए हल्के संरचनाएं
उनका उपयोग अक्सर इसमें किया जाता है:
इंटरफेरोमीटर
अंतरिक्ष दूरबीन
लेजर स्कैनिंग सिस्टम
एयरोस्पेस सिस्टम में, SiC फोर्क आर्म्स को इसके लिए महत्व दिया जाता है
कंपन के तहत हल्का और कठोरता
विकिरण और थर्मल शॉक के लिए प्रतिरोध
निम्न-पृथ्वी कक्षा की स्थितियों में संरचनात्मक स्थिरता
विशिष्ट भूमिकाओं में पेलोड सपोर्ट, गिम्बल लिंकेज और ऑप्टिकल माउंट शामिल हैं।
क्लीनरूम ऑटोमेशन वातावरण में, SiC फोर्क आर्म्स का उपयोग एंड-इफेक्टर्स या ग्रिपर के रूप में किया जाता है, जो प्रदान करते हैं:
गैर-प्रवाहकीय, गैर-कण-उत्पादक सतहें
अपघर्षक या संक्षारक वातावरण में लंबा सेवा जीवन
वैक्यूम चैंबर में आउटगैसिंग के लिए प्रतिरोध
एक गैर-मानक सटीक घटक के रूप में, SiC सिरेमिक फोर्क आर्म्स को आमतौर पर उपयोगकर्ता आवश्यकताओं के आधार पर अनुकूलित किया जाता है। अनुकूलन योग्य पैरामीटर शामिल हैं:
समग्र आयाम (लंबाई, चौड़ाई, मोटाई)
खुला आकार और कोण
सतह खत्म और खुरदरापन
चैम्फर्स, छेद, स्लॉट
वेफर संगतता (6", 8", 12")
हम प्रदर्शन और संगतता सुनिश्चित करने के लिए ड्राइंग समीक्षा, यांत्रिक व्यवहार के लिए FEM सिमुलेशन और प्रोटोटाइप सत्यापन सहित पूर्ण-चक्र सेवाएं प्रदान करते हैं।
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