क्वार्ट्ज वेफर बोट उच्च शुद्धता और उच्च तापमान प्रतिरोधी अनुकूलन योग्य

उत्पाद का परिचय

एक वेफर नाव, जिसे नाव या वाहक के रूप में भी जाना जाता है, वेफर्स को पकड़ने, स्थानांतरित करने और स्थिति देने के लिए अर्धचालक निर्माण में एक महत्वपूर्ण उपकरण है।इसका डिजाइन अत्यधिक तापमान (>1000°C) जैसे चरम परिस्थितियों का सामना करना चाहिए, रासायनिक संक्षारण, और विद्युत स्थैतिक डिस्चार्ज (ईएसडी) विभिन्न प्रक्रियाओं के दौरान वेफर सुरक्षा सुनिश्चित करने के लिए।

सिद्धांत

​​संरेखण और निर्धारण:
नाव पर स्थित छेद वेफर कैसेट में पिन के साथ संरेखित होते हैं, जिससे मैन्युअल हैंडलिंग के बिना बैच ट्रांसफर संभव होता है।
थर्मल साइक्लिंग (जैसे, एनीलिंग) के दौरान डबल-लेयर स्लॉट (ऊपरी और निचले) सुरक्षित वेफर्स।

​​थर्मल तनाव प्रबंधन
कम थर्मल विस्तार सामग्री (0.5×10−6/°C) तापमान उतार-चढ़ाव के तहत warpage को कम करती है।
मधुमक्खी की संरचना थर्मल तनाव को समान रूप से वितरित करती है।

प्रक्रिया संगतताः
स्लॉट ज्यामिति (जैसे, I-प्रकार, V-प्रकार) गैस-चरण अभिकर्मक प्रवाह सुनिश्चित करते हुए विभिन्न वेफर मोटाई (300 ¢ 800 μm) को समायोजित करते हैं।
हीरे के आकार का क्रॉस-सेक्शन द्विदिशात्मक रोबोट लोडिंग की अनुमति देता है, जिससे थ्रूपुट में सुधार होता है।

सुरक्षा एवं सुरक्षाः
बफर घटक (स्प्रिंग्स, रबर पैड) वेफर के प्लेसमेंट के दौरान यांत्रिक झटकों को अवशोषित करते हैं।
नाइट्रोजन शुद्ध करने से अवशेषों को हटाया जाता है, जिससे दूषित होने से बचा जाता है

विशेषताएं

फ्यूज्ड सिलिका ग्लास सिलिकॉन डाइऑक्साइड (SiO2) से बना एक विशेष औद्योगिक ग्लास है। यह उत्कृष्ट भौतिक और रासायनिक गुणों के साथ एक असाधारण आधार सामग्री के रूप में कार्य करता है।

• ​​उच्च तापमान प्रतिरोधक

नरम होने का बिंदुः ~1730°C.
यह लगातार 1100 से 1250 डिग्री सेल्सियस पर काम करता है और 1450 डिग्री सेल्सियस तक के अल्पावधि जोखिम का सामना करता है।

• ​​रासायनिक निष्क्रियता:

अधिकांश एसिड (हाइड्रोफ्लोरिक एसिड को छोड़कर) के प्रति प्रतिरोधी।
क्षरण प्रतिरोध 30 गुना सेरेमिक से अधिक है और 150 गुना स्टेनलेस स्टील से अधिक है।
अत्यधिक थर्मल परिस्थितियों में स्थिरता बनाए रखता है, अन्य सामग्रियों से बेहतर प्रदर्शन करता है।

• थर्मल स्थिरताः

अत्यधिक कम थर्मल विस्तार गुणांक (~ 5.5×10−7/°C)
थर्मल सदमे से बचता है (उदाहरण के लिए, 1100°C तक गर्म करने और पानी में बुझाने के बाद) ।

• ​​ऑप्टिकल पारदर्शिताः

पराबैंगनी (यूवी) से अवरक्त (आईआर) तक व्यापक स्पेक्ट्रम संचरण।
दृश्य प्रकाश पारगम्यताः >95%.
यूवी पारगम्यता 185-250 एनएम रेंज में 85% से अधिक होती है।

• ​​विद्युत इन्सुलेशन:

प्रतिरोध सामान्य कांच से 10,000 गुना अधिक है।
उच्च तापमान पर भी उत्कृष्ट विद्युतरोधक गुण

आवेदन