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| ब्रांड नाम: | ZMSH |
| मॉडल संख्या: | सीआईसी वेफर्स ट्रे |
| एमओक्यू: | 5 |
| भुगतान की शर्तें: | टी/टी |
सिलिकॉन कार्बाइड ट्रे ICP उत्कीर्णन के लिए SiC वेफर्स ट्रे प्लेट MOCVD Susceptor पहनने के लिए प्रतिरोधी
विवरण
एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ट्रे उच्च शुद्धता वाले ग्रेफाइट मैट्रिक्स से निर्मित होते हैं, जो सीवीडी (रासायनिक वाष्प जमाव) के माध्यम से असाधारण उच्च शुद्धता और सैद्धांतिक घनत्व के साथ एक सीआईसी कोटिंग प्राप्त करते हैं।यह सीवीडी सीआईसी कोटिंग असाधारण रूप से कठिन है, यह दर्पण की तरह खत्म करने के लिए पॉलिश करने के लिए अनुमति देता है, अल्ट्रा उच्च शुद्धता और उल्लेखनीय पहनने के प्रतिरोध प्रदर्शित करता है।उन्हें अर्धचालक उद्योग और अन्य अल्ट्रा-स्वच्छ सेटिंग्स के लिए आदर्श बना रहा हैमुख्य रूप से अर्धचालक वेफर्स पर एपिटैक्सियल लेयर गठन के लिए सब्सट्रेट के रूप में उपयोग किया जाता है, वे कई फायदे प्रदान करते हैं, जैसे कि अल्ट्रा-उच्च शुद्धता सतह और बेहतर पहनने के प्रतिरोध।सीवीडी के साथ न्यूनतम छिद्रों के साथ सीआईसी कोटिंग सुनिश्चित करना और सिलिकॉन कार्बाइड की पॉलिश करने योग्य प्रकृति, इन उत्पादों को अर्धचालक उद्योगों में व्यापक अनुप्रयोग मिलता है, जिसमें एमओसीवीडी ट्रे, आरटीपी और ऑक्साइड एटिंग कक्ष शामिल हैं,सिलिकॉन नाइट्राइड के उत्कृष्ट थर्मल सदमे प्रतिरोध और प्लाज्मा धीरज के कारण.
उत्पाद शोकेस
उत्पाद गुण
| पद | इकाई | तकनीकी मापदंड | |
|---|---|---|---|
| रेल सामग्री | -- | एसएसआईसी | SiSiC |
| रंग | -- | काला | काला |
| घनत्व | जी/सेमी3 | 3.12 | 3.06 |
| जल अवशोषण | % | 0 | 0 |
| एचआरए | -- | ≥ 92 | ≥ 90 |
| लोच का मॉड्यूल | औसत | 400 | 350 |
| फ्लेक्सुरल स्ट्रेंथ (@आर.टी.) | एमपीए | 359 | 300 |
| संपीड़न शक्ति (@R.T.) | एमपीए | ≥2200 | 2000 |
| थर्मल कंडक्टिविटी (@आर.टी.) | W/Mk | 110 | 100 |
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थर्मल विस्तार का गुणांक (20-1000°C) |
10-6/°C | 4.0 | 4.0 |
| अधिकतम कार्य तापमान | °C | 1500 | 1300 |
उत्पाद का अनुप्रयोग
आईसीपी उत्कीर्णन:सिलिकॉन कार्बाइड ट्रे आईसीपी (इंडक्टिवली कपल्ड प्लाज्मा) उत्कीर्णन प्रणालियों में महत्वपूर्ण घटक हैं, जहां वे अर्धचालक वेफर्स को पकड़ने और संसाधित करने के लिए मजबूत प्लेटफार्मों के रूप में कार्य करते हैं।ट्रे की पहनने के प्रतिरोधी प्रकृति उत्कीर्णन प्रक्रिया के दौरान लंबे समय तक विश्वसनीयता और स्थिरता सुनिश्चित करती है, जो पट्टियों पर सटीक पैटर्न हस्तांतरण और सतह संशोधन में योगदान देता है।
एमओसीवीडी संदिग्ध:एमओसीवीडी प्रणालियों में, सिलिकॉन कार्बाइड ट्रे संवेदनशील के रूप में कार्य करते हैं, जो अर्धचालक सब्सट्रेट पर पतली फिल्मों की जमाव के लिए स्थिर समर्थन प्रदान करते हैं।उच्च शुद्धता बनाए रखने और उच्च तापमान का सामना करने की ट्रे की क्षमता उन्हें उत्कृष्ट गुणवत्ता और एकरूपता के साथ epitaxial परतों की वृद्धि की सुविधा के लिए आदर्श बनाता है.
पहनने के प्रतिरोधी:सीआईसी कोटिंग से लैस इन ट्रे में असाधारण पहनने का प्रतिरोध होता है, जिससे कठिन परिचालन स्थितियों में भी लंबे समय तक सेवा जीवन सुनिश्चित होता है।घर्षण और रासायनिक अपघटन के प्रतिरोध से उत्पादकता बढ़ जाती है और डाउनटाइम कम होता हैउच्च थ्रूपुट सेमीकंडक्टर विनिर्माण वातावरण में उन्हें अपरिहार्य बनाते हैं।
एसआईसी लेपित ग्रेफाइट ट्रे का उपयोग गर्मी उपचार के दौरान अर्धचालक वेफर्स को तय करने और गर्म करने के लिए आधार के रूप में किया जाता है। ऊर्जा को अवशोषित किया जा सकता है और प्रेरण, संवहन या विकिरण के माध्यम से चिप को गर्म किया जा सकता है,और इसके थर्मल सदमे प्रतिरोध, थर्मल चालकता, और शुद्धता तेजी से थर्मल प्रसंस्करण (आरटीपी) के लिए आवश्यक हैं। सिलिकॉन एपिटेक्सी प्रक्रिया में, वेफर को एक आधार पर ले जाया जाता है,और प्रदर्शन और आधार की गुणवत्ता के लिए एक महत्वपूर्ण प्रभाव पर गुणवत्ता के वेफर epitaxial परत है.
प्रश्न और उत्तर
ग्राफाइट सस्पक्टर क्या है?
ग्रेफाइट सामग्री से सस्पेंसर और मफलसिंटर को बाहरी प्रभावों से बचाना, जैसे हीटिंग तत्वों से प्रत्यक्ष थर्मल विकिरणवे स्वयं ही गर्म होते हैं और अपनी गर्मी को समान रूप से वर्कपीस में उत्सर्जित करते हैं। स्थानीय अति ताप (तथाकथित हॉट स्पॉट) से बचा जाता है।
सीआईसी कोटिंग क्या है?
सिलिकॉन कार्बाइड कोटिंग क्या है?घने, पहनने के प्रतिरोधी सिलिकॉन कार्बाइड (SiC) कोटिंगइसमें उच्च संक्षारण और गर्मी प्रतिरोध गुणों के साथ-साथ उत्कृष्ट थर्मल चालकता है। हम रासायनिक वाष्प जमाव (सीवीडी) प्रक्रिया का उपयोग करके ग्रेफाइट पर पतली परतों में सीआईसी लागू करते हैं।आवेदन.
सिलिकॉन कार्बाइड ग्राफाइट क्या है?
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