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SAW/BAW 128 डिग्री Y Z-कट के लिए 6 इंच LiTaO3 LiNbO3 वेफर ब्लैक पोलराइज्ड
उत्पाद विवरण:
| उत्पत्ति के प्लेस: | चीन |
| ब्रांड नाम: | ZMKJ |
| प्रमाणन: | ROHS |
| मॉडल संख्या: | JZ-4इंच-LNOI |
भुगतान & नौवहन नियमों:
| न्यूनतम आदेश मात्रा: | 2PCS |
|---|---|
| मूल्य: | by case |
| पैकेजिंग विवरण: | सफाई कक्ष में एकल वेफर कंटेनर |
| प्रसव के समय: | 4 सप्ताह |
| भुगतान शर्तें: | टी/टी, वेस्टर्न यूनियन, पेपैल |
| आपूर्ति की क्षमता: | 10 पीसी / माह |
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विस्तार जानकारी |
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| सामग्री: | सिलिकॉन सब्सट्रेट पर LiNbO3 परत | परत की मोटाई: | 300-1000 एनएम |
|---|---|---|---|
| अभिविन्यास: | एक्स-कट | आवेदन 2: | 5G सॉ/BAW डिवाइस |
| आरए: | 0.5 एनएम | अलगाव परत: | Sio2 |
| सब्सट्रेट: | 525um | आकार: | 4 इंच 6 इंच 8 इंच |
| हाई लाइट: | 6 इंच LiNbO3 वेफर,BAW LiNbO3 वेफर,Z-कट LiTaO3 वेफर |
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उत्पाद विवरण
SAW/BAW अनुप्रयोगों के लिए 6 इंच LiTaO3 LiNbO3 वेफर ब्लैक पोलराइज्ड 128 डिग्री Y Z-कट
लिथियम नाइओबेट (LiNbO3)सिंगल क्रिस्टल उच्च इलेक्ट्रोमैकेनिकल युग्मन गुणांक और कम प्रसार हानि वाला एक फेरोइलेक्ट्रिक क्रिस्टल है, जिसका उपयोग 50% बैंडविड्थ तक SAW उपकरणों को बनाने के लिए किया जा सकता है।लिथियम नाइओबेट एकल क्रिस्टल सामग्री की ध्वनिक सतह तरंग गुण उनके अभिविन्यास और प्रसार दिशा से निकटता से संबंधित हैं।विभिन्न काटने के कोणों और प्रसार दिशाओं के अनुसार, आरा प्रसार वेग 3400~4000m/s है, इलेक्ट्रोमैकेनिकल युग्मन गुणांक 0%~5.6% है, और तापमान गुणांक -1.1~-95.6(10^-6/℃) है।
लिथियम टैंटलेट (LiTaO3)इसमें पीजोइलेक्ट्रिक, इलेक्ट्रो-ऑप्टिकल और नॉनलाइनियर ऑप्टिकल विशेषताएं हैं, और पराबैंगनी से अवरक्त तक एक विस्तृत पारदर्शिता रेंज है।यह वांछनीय है कि अच्छी गुणवत्ता के साथ कार्य करने के लिए LiTaO3 वेफर एक चिकनी सतह हो।रासायनिक यांत्रिक पॉलिशिंग (सीएमपी) का उपयोग एकीकृत सर्किट (आईसी) को समतल करने या सब्सट्रेट की उच्च सतह गुणवत्ता प्राप्त करने के लिए किया गया है।यह पेपर LiTaO3 CMP के घोल में एक योज्य के रूप में साइट्रिक एसिड के प्रभाव की जांच करता है।पॉलिश करने के बाद वेफर्स का खुरदरापन परमाणु बल माइक्रोस्कोपी (एएफएम, एक्सई-100) द्वारा मापा गया था।घोल, जिसमें एक योजक के रूप में साइट्रिक एसिड होता है, में बिना किसी योजक के घोल की तुलना में सामग्री हटाने की दर और घर्षण बल अधिक होता है।पॉलिश करने के बाद, LiTaO3 वेफर की सतह का खुरदरापन Ra के 1.7A तक कम किया जा सकता है।
विशेषता विशिष्टता
| क्रिस्टल संरचना | त्रिकोणीय, अंतरिक्ष समूह R3c, बिंदु समूह 3m |
| गलनांक | 1253℃ |
| मोहस कठोरता | 5 |
| घनत्व (जी/सेमी3) | 4.64 |
| प्रलाप | कोई नहीं |
| ऑप्टिकल एकरूपता | ~5x10-5/सेमी |
| पारदर्शिता रेंज | 420-5200nm |
| अवशोषण गुणांक | ~0.1%/सेमी @1064एनएम |
अपवर्तक सूचकांक | ne=2.146, संख्या=2.220@1300nm |
| थर्मल विस्तार गुणांक (25℃ पर) | //a,2.0x10-6/K |
| तापीय चालकता गुणांक | 25℃ पर 38 डब्लू/एम/के |
| थर्मल ऑप्टिकल गुणांक | dno/dT=-0.874 x 10-6/K 1.4μm पर |
सेलमीयर समीकरण | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750)-0.027169λ2 |
| सामग्री | 3" 4" 6" एलटी वेफर सॉ/ऑप्टिकल ग्रेड | ||
| अभिविन्यास | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ या अनुकूलित | ||
| क्यूरी टेम्प | 605°C±3°C | ||
| के साथ डोप किया गया | फ़े | ||
| एकल डोमेन | पूर्ण ध्रुवीकरण/कम किया गया | ||
| अभिविन्यास | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
| व्यास | 76.2±0.2मिमी | 100±0.2मिमी | 150±0.2मिमी |
| प्राथमिक फ्लैट | 22±1मिमी | 32±1मिमी | 47.5 मिमी, 57.5 मिमी, नॉच |
| मोटाई | 0.07मिमी~1.0मिमी | 0.1मिमी~1.0मिमी | 0.35मिमी~1.0मिमी |
| सतह खत्म | सिंगल/डबल साइड पॉलिश/डबल साइड लैप्ड | ||
| टीटीवी | <1~5µm | ||
| झुकना | ± (20μm ~40um ) | ||
| ताना | <= 20µm ~ 50µm | ||
| एलटीवी (5मिमीx5मिमी) | <1.5 उम | ||
| पीएलटीवी(<0.5um) | ≥98% (5मिमी*5मिमी) 2मिमी किनारे के साथ | ||
| पॉलिश पक्ष रा | खुरदरापन रा<=5ए | ||
| बैक साइड मानदंड | खुरदरापन Ra:0.5-1.0μm, GC#1000 | ||
| खरोंच और खुदाई (एस/डी) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
| एज प्रोफ़ाइल | SEMI M1.2@GC800# के साथ अनुपालन करें। C टाइप पर नियमित | ||
| दरारें, आरी के निशान, दाग | कोई नहीं | ||
LiTaO3 वेफर और LiNbO3 का प्रदर्शन
