सिलिकॉन वेफर की सतह के मापदंड, बो, वार्प और टीटीवी, महत्वपूर्ण कारक हैं जिन्हें चिप निर्माण में ध्यान में रखा जाना चाहिए।ये तीन पैरामीटर सामूहिक रूप से सिलिकॉन वेफर की सपाटता और मोटाई एकरूपता को दर्शाते हैं, जो चिप विनिर्माण प्रक्रिया के कई प्रमुख चरणों को सीधे प्रभावित करता है।
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) क्या है?
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) एक सिलिकॉन वेफर की अधिकतम और न्यूनतम मोटाई के बीच का अंतर है।यह पैरामीटर वेफर भर में मोटाई एकरूपता के एक महत्वपूर्ण संकेतक के रूप में कार्य करता हैअर्धचालक प्रक्रियाओं में, सिलिकॉन वेफर की मोटाई इसकी पूरी सतह पर अत्यधिक समान होनी चाहिए। आमतौर पर वेफर पर पांच पदों पर माप किए जाते हैं,और अधिकतम अंतर की गणना की जाती हैअंततः यह मूल्य सिलिकॉन वेफर की गुणवत्ता निर्धारित करने के लिए आधार के रूप में कार्य करता है।एक 4 इंच के सिलिकॉन वेफर का टीटीवी आम तौर पर 2 माइक्रोमीटर से कम होता है, जबकि 6 इंच के सिलिकॉन वेफर के लिए, यह आम तौर पर 3 माइक्रोमीटर से कम है।
सिलिकॉन वेफर की सतह के मापदंड, बो, वार्प और टीटीवी, महत्वपूर्ण कारक हैं जिन्हें चिप निर्माण में ध्यान में रखा जाना चाहिए।ये तीन पैरामीटर सामूहिक रूप से सिलिकॉन वेफर की सपाटता और मोटाई एकरूपता को दर्शाते हैं, जो चिप विनिर्माण प्रक्रिया के कई प्रमुख चरणों को सीधे प्रभावित करता है।
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) क्या है?
टीटीवी (कुल मोटाई भिन्नता) एक सिलिकॉन वेफर की अधिकतम और न्यूनतम मोटाई के बीच का अंतर है।यह पैरामीटर वेफर भर में मोटाई एकरूपता के एक महत्वपूर्ण संकेतक के रूप में कार्य करता हैअर्धचालक प्रक्रियाओं में, सिलिकॉन वेफर की मोटाई इसकी पूरी सतह पर अत्यधिक समान होनी चाहिए। आमतौर पर वेफर पर पांच पदों पर माप किए जाते हैं,और अधिकतम अंतर की गणना की जाती हैअंततः यह मूल्य सिलिकॉन वेफर की गुणवत्ता निर्धारित करने के लिए आधार के रूप में कार्य करता है।एक 4 इंच के सिलिकॉन वेफर का टीटीवी आम तौर पर 2 माइक्रोमीटर से कम होता है, जबकि 6 इंच के सिलिकॉन वेफर के लिए, यह आम तौर पर 3 माइक्रोमीटर से कम है।
