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वेफर को अल्ट्रा-थिन स्तरों तक कैसे पतला किया जा सकता है?
अल्ट्रा-थिन वेफर का क्या मतलब है?

विशिष्ट मोटाई परिभाषाएँ (8"/12" वेफर)

• मानक वेफर: 600–775 μm

• पतला वेफर: 150–200 μm

• अल्ट्रा-थिन वेफर: < 100 μm

• अत्यधिक पतला वेफर: 50 μm, 30 μm, या 10–20 μm

पतले वेफर क्यों?

• कुल स्टैक मोटाई कम करें, TSV को छोटा करें, और RC विलंब

• कम करेंकम विद्युत प्रतिरोध और

• थर्मल डिसिपेशन में सुधार करेंअल्ट्रा-स्लिम उत्पाद

की आवश्यकताओं को पूरा करें (मोबाइल, वियरेबल्स, एडवांस्ड पैकेजिंग)

1. अल्ट्रा-थिन वेफर के साथ मुख्य जोखिम

2. यांत्रिक शक्ति में नाटकीय रूप से कमीबढ़ी हुई वार्पेज

3. (तनाव-प्रेरित धनुष/वार्प)चुनौतीपूर्ण हैंडलिंग

4. (पिकअप, परिवहन, चकिंग, संरेखण)फ्रंट-साइड संरचनाओं की उच्च भेद्यता

, जिससे दरारें और टूट-फूट होती है

1. अल्ट्रा-थिन वेफर प्राप्त करने के सामान्य तरीके
   अस्थायी वेफर बॉन्डिंग (कैरियर सपोर्ट) वेफर को आंशिक रूप से डाइस किया जाता है (स्क्राइब को गहराई से काटा जाता है लेकिन पूरी तरह से नहीं), इसलिए प्रत्येक डाई की रूपरेखा तब परिभाषित की जाती है जब वेफर अभी भी एक टुकड़े के रूप में व्यवहार करता है। फिर वेफर को लक्षित मोटाई तक बैक-ग्राइंड

2. किया जाता है, धीरे-धीरे शेष सिलिकॉन को हटा दिया जाता है जब तक कि अवशिष्ट परत को पीसकर अलग न कर दिया जाए, जिससे बेहतर नियंत्रण के साथ स्वच्छ डाई पृथक्करण सक्षम हो सके।
   ताइको प्रक्रिया (रिम-रिटेन्ड थिनिंग) केवल केंद्रीय क्षेत्र को पतला किया जाता है, जबकि बाहरी रिम को मोटा रखा जाता है। बनाए रखा गया रिम एक सुदृढीकरण रिंग

3. के रूप में कार्य करता है, जो कठोरता में सुधार करता है, वार्पेज के जोखिम को कम करता है, और डाउनस्ट्रीम प्रसंस्करण के दौरान हैंडलिंग को अधिक स्थिर बनाता है।
   अस्थायी वेफर बॉन्डिंग (कैरियर सपोर्ट) वेफर को एक कैरियर से अस्थायी रूप से बॉन्ड किया जाता है (एक "अस्थायी बैकबोन"), एक कांच-कागज जैसी नाजुक वेफर को प्रबंधनीय, संसाधित करने योग्य असेंबली में बदल देता है। कैरियर यांत्रिक सहायता प्रदान करता है, फ्रंट-साइड सुविधाओं की रक्षा करता है, और थर्मल/यांत्रिक तनाव को बफर करता है - जिससे दसियों माइक्रोन तक पतला किया जा सकता है जबकि अभी भी TSV प्रसंस्करण, इलेक्ट्रोप्लेटिंग और बॉन्डिंग जैसे मांग वाले चरणों को सक्षम किया जा सकता है। यह आधुनिक 3D पैकेजिंग