अर्धचालक उत्पादों को शून्य प्रदूषण सुनिश्चित करने के लिए असाधारण रूप से स्वच्छ उत्पादन वातावरण की आवश्यकता होती है।जहां श्रमिक कणों और विद्युत स्थैतिक डिस्चार्ज को रोकने के लिए विरोधी स्थैतिक कपड़े पहनते हैं.
सेमीकंडक्टर बेहद नाजुक होते हैं_ कुछ वेफर्स बेहद पतले होते हैं, जो केवल एक मिलीमीटर के अंश या उससे भी पतले होते हैं_ इसलिए सावधानीपूर्वक हैंडलिंग आवश्यक है_ प्रसंस्करण के दौरान, सभी हैंडलिंग उपकरण,फिक्स्चर, और अर्धचालक घटकों के संपर्क में आने वाले कंटेनरों को सख्त मानकों का पालन करना चाहिए। इन उपकरणों को वेफर्स को दूषित नहीं करना चाहिए और एसिड, क्षार,और ताप उपचार, दीर्घकालिक स्थायित्व सुनिश्चित करता है।
सामग्री का चयन:
अधिकांश अर्धचालक रोबोटिक बाहों से बने होते हैं99% एल्युमिनियम सिरेमिक.
एल्युमिना सिरेमिक के गुण:
संरचनात्मक सिरेमिक के रूप में एल्युमिनियम सिरेमिक की कठोरता हीरे के बाद दूसरी होती है और पहनने के प्रतिरोध में स्टील और क्रोम स्टील से काफी बेहतर होती है।यह उच्च तापमान सहिष्णुता (1600 °C तक) प्रदान करता है, उत्कृष्ट पहनने और संक्षारण प्रतिरोध, कम घर्षण, और एक हल्के संरचना से यह अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है।
नामकरण और कार्यः
ये एल्यूमीनियम सिरेमिक रोबोटिक हथियार, जिन्हेंसिरेमिक कांटेयावेफर स्थानांतरण अंत प्रभावक, वेफ़र हैंडलिंग रोबोट पर लगाए गए घटक हैं। वे रोबोट के हाथों के रूप में कार्य करते हैं, सुरक्षित रूप से निर्दिष्ट स्थानों पर सिलिकॉन वेफ़र स्थानांतरित करते हैं।चूंकि वे वेफर्स के प्रत्यक्ष संपर्क में आते हैंउनकी हल्की प्रकृति रोबोटिक उपकरणों पर भार को कम करने में मदद करती है, सेवा जीवन को बढ़ाती है।
सिरेमिक रोबोटिक हथियारों के प्रकार:
क्लैंपिंग प्रकार
समर्थन का प्रकार
वैक्यूम सक्शन प्रकार
बर्नौली प्रकार
पाउडर तैयार करना:उच्च शुद्धता वाले एल्युमिना पाउडर को गोलाकार कणों के रूप में स्प्रे ग्रेन्युलेशन से गुजरना पड़ता है।
ढालना:ग्रेन्युल को एक हरे रंग का शरीर बनाने के लिए सूखी प्रेस किया जाता है, जिसे ठंड आइसोस्टैटिक प्रेसिंग का उपयोग करके आगे आकार दिया जाता है।
घनत्वःआकार के शरीर को उच्च तापमान पर सिंटर किया जाता है, जिससे कणों के बीच के रिक्त स्थानों को हटा दिया जाता है और एक घने सिरेमिक ठोस का गठन होता है।
पीसने और सतह प्रसंस्करणःघुमावदार पीसने वाले पहियों से सतह के ऑक्साइड और अशुद्धियां हटाई जाती हैं।
परिशुद्धता मशीनिंग:आंतरिक और बाहरी सतह पीसने से भाग को और परिष्कृत किया जाता है। सीएनसी मशीनिंग आयामी सटीकता और सतह चिकनाई सुनिश्चित करती है।
सिरेमिक हाथ शामिल हैहवा के नल और वेंटिलेशन ग्रिवजब वैक्यूम लगाया जाता है, तो यह यांत्रिक तनाव, खरोंच या पतले वेफर्स के चिपके होने से बचने के लिए अर्धचालक भागों को धीरे-धीरे पकड़ने के लिए सक्शन बनाता है।
उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोधःसिरेमिक हथियार धातु हथियारों की तुलना में अम्लीय और क्षारीय वातावरण दोनों का बेहतर सामना करते हैं, अर्धचालक प्रसंस्करण के दौरान अधिक सेवा जीवन प्रदान करते हैं।
गैर-दूषित करनेवाला:चीनी मिट्टी अन्य पदार्थों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करती है, कोई ठीक कण नहीं छोड़ती है, कोई अवशिष्ट स्थैतिक आवेश नहीं ले जाती है, और कोई धातु आयन जारी नहीं करती है।
न्यूनतम ताप विकृतिःथर्मल उपचार के दौरान, सिरेमिक हथियार धातुओं की तुलना में अपने आकार को बेहतर बनाए रखते हैं, नाजुक अर्धचालक घटकों के विरूपण को कम करते हैं।
वेफर हैंडलिंग रोबोटिक बाहों से परे, सिरेमिक्सइन्सुलेशन, उच्च तापमान प्रतिरोध, एसिड और क्षार प्रतिरोध, और रासायनिक स्थिरता
अर्धचालक उत्पादों को शून्य प्रदूषण सुनिश्चित करने के लिए असाधारण रूप से स्वच्छ उत्पादन वातावरण की आवश्यकता होती है।जहां श्रमिक कणों और विद्युत स्थैतिक डिस्चार्ज को रोकने के लिए विरोधी स्थैतिक कपड़े पहनते हैं.
सेमीकंडक्टर बेहद नाजुक होते हैं_ कुछ वेफर्स बेहद पतले होते हैं, जो केवल एक मिलीमीटर के अंश या उससे भी पतले होते हैं_ इसलिए सावधानीपूर्वक हैंडलिंग आवश्यक है_ प्रसंस्करण के दौरान, सभी हैंडलिंग उपकरण,फिक्स्चर, और अर्धचालक घटकों के संपर्क में आने वाले कंटेनरों को सख्त मानकों का पालन करना चाहिए। इन उपकरणों को वेफर्स को दूषित नहीं करना चाहिए और एसिड, क्षार,और ताप उपचार, दीर्घकालिक स्थायित्व सुनिश्चित करता है।
सामग्री का चयन:
अधिकांश अर्धचालक रोबोटिक बाहों से बने होते हैं99% एल्युमिनियम सिरेमिक.
एल्युमिना सिरेमिक के गुण:
संरचनात्मक सिरेमिक के रूप में एल्युमिनियम सिरेमिक की कठोरता हीरे के बाद दूसरी होती है और पहनने के प्रतिरोध में स्टील और क्रोम स्टील से काफी बेहतर होती है।यह उच्च तापमान सहिष्णुता (1600 °C तक) प्रदान करता है, उत्कृष्ट पहनने और संक्षारण प्रतिरोध, कम घर्षण, और एक हल्के संरचना से यह अर्धचालक अनुप्रयोगों के लिए आदर्श है।
नामकरण और कार्यः
ये एल्यूमीनियम सिरेमिक रोबोटिक हथियार, जिन्हेंसिरेमिक कांटेयावेफर स्थानांतरण अंत प्रभावक, वेफ़र हैंडलिंग रोबोट पर लगाए गए घटक हैं। वे रोबोट के हाथों के रूप में कार्य करते हैं, सुरक्षित रूप से निर्दिष्ट स्थानों पर सिलिकॉन वेफ़र स्थानांतरित करते हैं।चूंकि वे वेफर्स के प्रत्यक्ष संपर्क में आते हैंउनकी हल्की प्रकृति रोबोटिक उपकरणों पर भार को कम करने में मदद करती है, सेवा जीवन को बढ़ाती है।
सिरेमिक रोबोटिक हथियारों के प्रकार:
क्लैंपिंग प्रकार
समर्थन का प्रकार
वैक्यूम सक्शन प्रकार
बर्नौली प्रकार
पाउडर तैयार करना:उच्च शुद्धता वाले एल्युमिना पाउडर को गोलाकार कणों के रूप में स्प्रे ग्रेन्युलेशन से गुजरना पड़ता है।
ढालना:ग्रेन्युल को एक हरे रंग का शरीर बनाने के लिए सूखी प्रेस किया जाता है, जिसे ठंड आइसोस्टैटिक प्रेसिंग का उपयोग करके आगे आकार दिया जाता है।
घनत्वःआकार के शरीर को उच्च तापमान पर सिंटर किया जाता है, जिससे कणों के बीच के रिक्त स्थानों को हटा दिया जाता है और एक घने सिरेमिक ठोस का गठन होता है।
पीसने और सतह प्रसंस्करणःघुमावदार पीसने वाले पहियों से सतह के ऑक्साइड और अशुद्धियां हटाई जाती हैं।
परिशुद्धता मशीनिंग:आंतरिक और बाहरी सतह पीसने से भाग को और परिष्कृत किया जाता है। सीएनसी मशीनिंग आयामी सटीकता और सतह चिकनाई सुनिश्चित करती है।
सिरेमिक हाथ शामिल हैहवा के नल और वेंटिलेशन ग्रिवजब वैक्यूम लगाया जाता है, तो यह यांत्रिक तनाव, खरोंच या पतले वेफर्स के चिपके होने से बचने के लिए अर्धचालक भागों को धीरे-धीरे पकड़ने के लिए सक्शन बनाता है।
उत्कृष्ट संक्षारण प्रतिरोधःसिरेमिक हथियार धातु हथियारों की तुलना में अम्लीय और क्षारीय वातावरण दोनों का बेहतर सामना करते हैं, अर्धचालक प्रसंस्करण के दौरान अधिक सेवा जीवन प्रदान करते हैं।
गैर-दूषित करनेवाला:चीनी मिट्टी अन्य पदार्थों के साथ प्रतिक्रिया नहीं करती है, कोई ठीक कण नहीं छोड़ती है, कोई अवशिष्ट स्थैतिक आवेश नहीं ले जाती है, और कोई धातु आयन जारी नहीं करती है।
न्यूनतम ताप विकृतिःथर्मल उपचार के दौरान, सिरेमिक हथियार धातुओं की तुलना में अपने आकार को बेहतर बनाए रखते हैं, नाजुक अर्धचालक घटकों के विरूपण को कम करते हैं।
वेफर हैंडलिंग रोबोटिक बाहों से परे, सिरेमिक्सइन्सुलेशन, उच्च तापमान प्रतिरोध, एसिड और क्षार प्रतिरोध, और रासायनिक स्थिरता
